금속화 세라믹 기판

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금속화 세라믹 기판
  • 국가
  • ±50㎛

1.두께 : 0.1㎜~1.5㎜ / 4mil~60mil
2.절단정도 : ±50㎛

  • 특징

서브마운트는 MARUWA가 수년간 쌓아온 금속화 기술과 세라믹 소재 기술을 결합하여 개발되었습니다. 재료는 랩어라운드 금속화와 같은 다양한 패턴 기술로 맞춤화될 수 있습니다. 본 제품은 광저장, 광통신, RF 응용 등 다양한 용도의 회로기판에 사용됩니다.

  • 금속화 일반 사양

안건표준사양
기판 재료재료알루미나(알2영형3)99.5%, 96% 등
질화알루미늄(AlN)-
유전체 기판e38, e93등.
두께0.1㎜~1.5㎜ / 4mil~60mil
작업 크기50.8㎜□(2인치□)、2인치 x 4인치□、3인치
필름 사양(도체)필름 구성 / 필름 두께드라이에칭티/백금/오=0.06/0.2/0.3㎛~2.0㎛약
티/PD/오=0.06/0.2/2.0㎛~10.0㎛약
습식 에칭티/PD/오=0.06/0.2/2.0㎛~10.0㎛약
필름 사양(저항체)좌석 저항25Ω/□、50Ω/□(±20%)특별사양(±5%)
TCR-50±50ppm/°C
필름 구성질화탄탈륨(Ta2N)
필름 사양(솔더)필름 구성 / 필름 두께오/Sn1.5μm~10μm
가공규격(박막회로)최소 라인 및 공간드라이에칭L/S≧10㎛
습식 에칭L/S:20μm/20μm±10μm
가공규격(가공)절단 정확도±50㎛
안건검사 항목측정 검사 기계
품질 보증크기측정현미경
필름 두께X선 형광, 표면 거칠기 측정기
저항디지털 측정기
외관현미경
와이어 강도Plt 테스터




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